壓力傳感器是一種把非電量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的器件,在生產(chǎn)測(cè)量中的應(yīng)有十分廣泛,常見于各種生產(chǎn)自動(dòng)化控制領(lǐng)域,對(duì)提高設(shè)備精度、安全及質(zhì)量具有重要作用。壓力傳感器的發(fā)展主要方向是哪些， 安徽春輝集團(tuán)帶您了解從以下五個(gè)方面進(jìn)行解讀！

　　這是一類研究成果較多的傳感器,但投入實(shí)際領(lǐng)域的并不是太多。工作原理是利用敏感元件受壓力作用時(shí)的形變與反射光強(qiáng)度相關(guān)的特性,由硅框和金鉻薄膜組成的膜片結(jié)構(gòu)中間夾了一個(gè)硅光纖擋板,有壓力的情況下,光線通過擋板的過程中會(huì)發(fā)生強(qiáng)度的改變,通過檢測(cè)這個(gè)微小的改變量,就能測(cè)得壓力的大小。這種敏感元件已被應(yīng)用與臨床醫(yī)學(xué),用來測(cè)擴(kuò)張冠狀動(dòng)脈導(dǎo)管氣球內(nèi)的壓力?？深A(yù)見這種壓力傳感器在顯微外科方面一定會(huì)有良好的發(fā)展前景。同時(shí),加工與健康保健方面,光纖傳感器也在快速發(fā)展。

　　E+H公司的電容式壓力傳感器是由一塊基片和厚度為0.82.8mm氧化鋁(Al2O3構(gòu)成,其間用一個(gè)自熔焊接圓環(huán)釬焊在一起。該環(huán)具有隔離作用,不需要溫度補(bǔ)償,可以保持長期測(cè)量的可靠性和持久的精度。測(cè)量方法采用電容原理,基片上一電容CP位于位移最大的膜片的中央,而另一參考電容CR位于膜片的邊緣,由于邊緣很難產(chǎn)生位移,電容值不發(fā)生變化,CP變化則與施加的壓力變化有關(guān),膜片的位移和壓力之間的關(guān)系是線性的遇到過載時(shí),膜片貼在基片上不會(huì)被破壞,無負(fù)載時(shí)會(huì)立刻返回原位無任何滯后,過載量可以達(dá)到100%,即使是破壞也不會(huì)泄漏任何污染介質(zhì)。因此具有廣泛的應(yīng)用前景。

　　新型半導(dǎo)體材料碳化硅(SiC出現(xiàn)使得單晶體的高溫傳感器的制作成為可能。Rober.S.Okoji報(bào)導(dǎo)了一種運(yùn)行試驗(yàn)達(dá)500℃的α(6HSiC壓力傳感器.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,輸入電壓為5V,被測(cè)壓力為6.9MPa條件下,23500℃時(shí)的滿量程輸出為44.6620.03mV,滿量程線度為20.17%,遲滯為0.17%500℃條件下運(yùn)行10h,性能基本不變,100℃和500℃兩點(diǎn)的應(yīng)變溫度系數(shù)(TCGF,分別為20.19%/℃和-0.11%/℃。這種傳感器的主要優(yōu)點(diǎn)是PN結(jié)泄漏電流很小,沒有熱匹配問題以及升溫不產(chǎn)生塑性變型,可以批量加工。Ziermann,Rene報(bào)導(dǎo)了使用單晶體n型β-SiC材料制成的壓力傳感器,這種壓力傳感器工作溫度可達(dá)573K,耐輻射。室溫下,此壓力傳感器的靈敏度為20.2muV/VKPa。

　　微機(jī)械加工技術(shù)逐漸完善的今天,硅微機(jī)械傳感器在汽車工業(yè)中的應(yīng)用越來越多。而隨著微機(jī)械傳感器的體積越來越小,線度可以達(dá)到12mm,可以放置在人體的重要器官中進(jìn)行數(shù)據(jù)的采集。Hachol,A ndrzej;dziuban,JanBochenek報(bào)導(dǎo)了一種可以用于測(cè)量眼球的眼壓計(jì),其膜片直徑為1mm內(nèi)眼壓為60mmHg時(shí),靜態(tài)輸出為40mV,靈敏度系數(shù)比較高。